比如通過(guò)測(cè)量鋼體材料作為樣品,使用肉眼可以自己看到表面有一些細(xì)微的小黑點(diǎn),假使我們應(yīng)該采用金相顯微鏡觀察,即使放大到最大的倍數(shù),只能觀察到有黑色區(qū)域,很難去區(qū)分黑點(diǎn)的形態(tài)。我們主要采用激光掃描共聚焦顯微鏡對(duì)此處缺陷問(wèn)題進(jìn)行數(shù)據(jù)測(cè)量方法觀察。首先采用傳統(tǒng)普通光源觀察黑色小點(diǎn),將黑色小點(diǎn)移動(dòng)至觀察生活區(qū)域,再將光源轉(zhuǎn)換到激光部分,利用激光對(duì)缺陷導(dǎo)致部分內(nèi)容進(jìn)行深度方向的逐層掃描,得到控制缺陷處的三維形貌特征信息。結(jié)果也是顯而易見。很明顯黑色斑點(diǎn)是由一些小坑構(gòu)成的。在經(jīng)過(guò)坑的部位畫一條測(cè)量線,如測(cè)量工作結(jié)果統(tǒng)計(jì)報(bào)告圖所示，測(cè)量線的高度相關(guān)信息如圖所示坑的沿著測(cè)量線方向的最大寬度、最大經(jīng)濟(jì)深度等信息管理一目了然。當(dāng)然同時(shí)還可以對(duì)社會(huì)其他有需要的缺陷處的多處尺寸分別代表進(jìn)行教育測(cè)量。分析模型可知對(duì)于這些黑色的小斑點(diǎn)應(yīng)該是鋼材生產(chǎn)加工處理過(guò)程中有異物壓入或者腐蝕留下的痕跡。
　　在缺陷分析過(guò)程中，激光共焦顯微鏡充分發(fā)揮了其在三維形貌測(cè)量中的優(yōu)勢(shì)。當(dāng)普通光學(xué)顯微鏡無(wú)法分辨高度方向的信息時(shí)，它填補(bǔ)了這一空白，對(duì)其微觀形貌進(jìn)行三維分析，獲得整個(gè)觀察區(qū)域的三維坐標(biāo)，對(duì)金屬材料表面黑色缺陷的來(lái)源分析起到關(guān)鍵作用。激光掃描共焦顯微鏡技術(shù)已經(jīng)發(fā)展得比較成熟，并在很多領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。在金屬材料的顯微觀察中，激光掃描共聚焦顯微鏡有很多優(yōu)點(diǎn)。它在分辨率和清晰度方面優(yōu)于普通光學(xué)顯微鏡。對(duì)樣品和測(cè)試環(huán)境要求低，操作方便快捷，無(wú)損檢測(cè)；可以掃描空間的三維形貌，直觀顯示被觀察物體的三維形貌；可以測(cè)量體積、面積、顆粒、薄膜厚度、深度、長(zhǎng)度和寬度、線粗糙度、表面粗糙度等表面形貌信息。因此，激光掃描共聚焦顯微鏡在金屬材料的研究和開發(fā)中，尤其是在微觀組織和形貌的觀察中，具有非常廣闊的應(yīng)用前景。